在电子汽车衡 传感 系统 中的智能 压力变送器 /差压 传送器 。

微电子学 的迅速 发展 ，促使 微机械加工 技术 不断更新 ，使仪器仪表 走向 现代化 ，奠定 了现代 传感技术 的基础 ，推动 了新型 电子汽车衡 传感器 、集成 智能变送器 的开发 与应用 ，取得 了令人瞩目 的成就 。 与传统 结构型 传感器 相比 ，电子汽车衡 传感器 在技术 和性能 上有了 质的变化 ，它使传感器技术 朝着 小型化 、*** 、低功耗 、智能化 的方向 迈进 了一大步 ，标志着 传感器 检测 与变送器 的时代 即将到来 。 近几年来 ，研制 了微型 伺服 加速度计 、微结构 加速度 开关 、微硅谐振 式压力传感器 、微硅复合 应变 式压力传感器 、微硅质量流量计 等多种类型 的电子地磅 硅传感器 并投入 生产 应用 。 据预测 ，利用微 加工 技术 可以 制造 出多种 微结构 传感器 ，并在此基础 上将 传感器 与微处理器 集成 ，从而 设计 出新 一代 的数字 智能变送器 。